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微波等离子体源

微波能量通过波导或同轴电缆传输至放电腔室，电子在微波电场中获得能量后与气体分子碰撞电离，形成并维持等离子体。广泛用于材料处理（如PECVD、刻蚀）、光源、光谱分析以及离子源等领域。

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